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 普发分子泵组

  发布时间:2013-8-23

Hicube 分子泵组 真空泵组
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Hicube 真空泵组产品优点:
1. 涡轮分子泵前级泵的完美结合;适合多种应用需求
2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便,易于保养维修
4. 集成的驱动系统,无需额外的控制系统
5. “即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固,服务寿命长,可靠性高
7. 意外断电时,前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
Hicube 真空泵组应用领域:
1.研发 2. 加速器 3. 分析和表面物理学 4. 真空工艺 5. 电子束焊接 6. 检漏系统
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准:最新系列的 HiPace 涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。我们为您提供最新的 Classic 和 Pro 系列的 Hicube 真空泵组真空泵组可选择干泵旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10 mbar。针对特别有限的空间要求,Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 Hicube Eco 经济型泵组,其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
Hicube 真空泵组产品规格:
真空泵组 Hicube Pro:

技术指标:
型号
连接法兰
抽速 l/s
极限真空mbar
前级泵抽速 m3/h
入口
N2
Xtradry 150
Penta
Xtradry 150
Penta 10
Penta 20
Penta 40
Hicube 80
40
35
〈1.10-7
〈1.10-7
7.5
11
22
34
Hicube 80
63
67
〈1.10-7
〈1.10-7
7.5
11
22
34
Hicube 80
63
67
〈5.10-10
〈5.10-10
7.5
11
22
34
Hicube 300
100
260
〈1.10-7
〈1.10-7
7.5
11
22
34
Hicube 300
100
260
〈5.10-10
〈1.10-8
7.5
11
22
34
  Hicube 400
100
355
〈1.10-7
〈1.10-8
7.5
11
22
34
Hicube 400
100
355
〈5.10-10
〈1.10-8
7.5
11
22
34
Hicube 700
160
685
〈1.10-7
〈1.10-7
7.5
11
22
34
Hicube 700
160
685
〈5.10-10
〈1.10-8
7.5
11
22
34

真空泵组 Hicube Eco:
真空泵组 Hicube Classic:
真空泵组 技术参数:
真空泵组 Hicube Pro:
真空泵组 技术参数:
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