2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便,易于保养维修
4. 集成的驱动系统,无需额外的控制系统
5. “即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固,服务寿命长,可靠性高
1.研发 2. 加速器 3. 分析和表面物理学 4. 真空工艺 5. 电子束焊接 6. 检漏系统
型号 |
连接法兰 |
抽速 l/s |
极限真空mbar |
前级泵抽速 m3/h |
入口 |
N2 |
Xtradry 150 |
Penta |
Xtradry 150 |
Penta 10 |
Penta 20 |
Penta 40 |
Hicube 80 |
40 |
35 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 80 |
63 |
67 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 80 |
63 |
67 |
〈5.10-10 |
〈5.10-10 |
7.5 |
11 |
22 |
34 | 技术指标:
Hicube 300 |
100 |
260 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 300 |
100 |
260 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 400 |
100 |
355 |
〈1.10-7 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 400 |
100 |
355 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 700 |
160 |
685 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
Hicube 700 |
160 |
685 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|